恭喜-芯米公司-喜獲新加坡AMF公司“8寸Coater&Developer(涂布顯影設備)”訂單
金九銀十,金秋十月芯米公司收獲不斷,可謂喜事連連。我司榮獲新加坡AMF公司幸賴喜獲“ 8寸Coater&Developer(涂布顯影設備)”訂單。
新加坡Advanced Micro Foundry (AMF)公司是新加坡科技研究局微電子研究院的孵化公司,成立于2017年。作為硅光子領域的先驅研究機構之一,AMF十多年來一直致力于硅光子技術以及產品的研發。AMF在核心研究發展方面始終保持均衡的努力,通過與國際頂尖高校以及各大跨國公司的學術合作和戰略性研發,建立并完善了硅光子技術在各個應用領域的專利組合。 基于標準的200mm CMOS工藝,AMF開發出了多功能的硅光子平臺。迄今為止,AMF已開發出各類關鍵硅光子器件和集成線路,包括用于光通信的無源器件(如濾波器,陣列波導光柵等),以及高速有源器件(如高速調制器,光電探測器等),極大的促進了高性能硅光子光學模塊的發展,可以滿足不同市場領域合作伙伴的不同需求以及不同應用。
我司的8寸 Coater光刻膠涂布機:
◆ XM-D200是一款 6~8吋 全自動 Coater&Developer(涂布顯影設備)特點
◆ 模塊化設計, 可依客戶客制化工藝生產需求為導向,從設計開發、機臺組裝、測試、機臺安裝到售后服務。
◆ Through-Put 產能每小時60片
◆ Uptime >=95%
◆ 精準藥液溫度控制工藝流程
◆ Cassette -> PEB -> COL -> Developing -> HP -> Cassette
◆ 采用高精度旋轉馬達 ( Spin Motor )
◆ 根據不同的產品工藝可選不同的顯影噴頭
◆ 制程空間采用FFU, 使其潔凈度達到10級要求
應用領域
◆ 2吋、4吋、 6吋和8吋,應用于半導體前段黃光制程、 后段封裝制程、MEMS、 LED 和 OLED。