顯影單元- 芯米（廈門）半導體設備有限公司

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顯影單元

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ꄴ上一個：涂膠單元

ꄲ下一個：

顯影單元

3-Pin升降（氣缸升降/電機緩降）

顯影噴嘴形狀可定制

腔體排風單獨可調單元可處理PR或PI顯影

顯影液保溫精度圮.2 °C （可選）

可實現動態及靜態顯影

Arm定位精度：±0.1mm

Chuck 端跳：＜0.02mm

Chuck 表面溫度:23°C±o"

產品參數

尺寸/功能

根據客戶要求定制

半導體裝備與工藝整體解決生產商
SEMICONDUCTOR EQUIPMENT

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