涂膠單元- 芯米（廈門）半導體設備有限公司

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涂膠單元

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ꄴ上一個：熱盤&冷盤單元

ꄲ下一個：顯影單元

涂膠單元

最大可支持3路光阻，可獨立涂覆PR或PI

膠嘴自動切換，膠路保溫功能（可選）

CUP自動清洗，膠嘴保濕功能（可選）

PR類型：正膠/ 負膠； EBR ( Edge Bead Remover ) 精準控制到0.1mm；

光刻膠恒溫控制到噴嘴；

高精度定量泵浦吐出量誤差≦0.05cc ( 100cp以下),

下進上出式管狀隔膜泵不易藏氣泡

產品參數

尺寸/功能

根據客戶要求定制

半導體裝備與工藝整體解決生產商
SEMICONDUCTOR EQUIPMENT

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