熱盤&冷盤單元
Hot Plate 熱盤單元:
應用領域: Soft Baking, Hard Baking, PEB;
功耗低;
溫度范圍: 50.1 ~ 100?C R ≤0.5?C
100.1 ~ 150?C R ≤1.0?C
150.1 ~ 180?C R ≤1.5?C
180.1 ~ 250?C R ≤2.0?C
HHP超高溫熱盤。
Cooling Plate 冷盤單元:
應用領域: Cooling 冷卻
溫度范圍: 17 ~ 35?C R ≤0.5?C
熱盤&冷盤單元
Hot Plate 熱盤單元:
應用領域: Soft Baking, Hard Baking, PEB;
功耗低;
溫度范圍: 50.1 ~ 100?C R ≤0.5?C
100.1 ~ 150?C R ≤1.0?C
150.1 ~ 180?C R ≤1.5?C
180.1 ~ 250?C R ≤2.0?C
HHP超高溫熱盤。
Cooling Plate 冷盤單元:
應用領域: Cooling 冷卻
溫度范圍: 17 ~ 35?C R ≤0.5?C